測(cè)量范圍

 電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展)；  
 方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展)； 
 電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm； 
 電阻：0.0001～2000Ω.cm； 

可測(cè)晶片直徑

 140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái))；
 200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái))；
 400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái))；

恒流源

 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

 量程及表示形式：000.00～199.99mV；
 分辨力：10μV；
 輸入阻抗：>1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)

 間距：1±0.01mm；
 針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 
  機(jī)械游移率：≤0.3%；
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)

 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整機(jī)測(cè)量*大相對(duì)誤差

(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%

整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

 ≤5%

測(cè)試模式

 可連接電腦測(cè)試也可不連接電腦測(cè)試

軟件功能（選配）

軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)*大值、*小值、平均值、*大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。

計(jì)算機(jī)通訊接口

并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5秒

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

 溫度：23±2℃；
 相對(duì)濕度：≤65%；
 無高頻干擾；
 無強(qiáng)光直射；